目前認為,不論何種間質性肺病,由于刺激或者是損傷因素導致,肺臟早期的基礎病變為肺泡炎,炎性和免疫細胞可以引起肺泡結構紊亂和產生纖維化。
肺泡炎可能經吸氧或者是經治療后好轉或者是痊愈,但組織纖維化卻無法逆轉甚至繼續發展。不論在肺泡內、肺泡隔或者是間質腔,組織纖維化都十分活躍,肺泡內積聚纖維素或者是透明膜,以及間質腔內水腫和細胞浸潤,都逐漸隨成纖維化細胞大量浸潤而轉變為纖維組織,使原來的組織結構完全變形,失去彈性。
病變部位的小支氣管易被纖維化組織牽拉扭曲,導致管腔擴張或者是狹窄,部分為未累及的呼吸性細支氣管出現代償性囊狀擴張或者是會合成叫大囊泡。